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产品使用

离子注入技能观点

认真空中有一束离子束射向一块固体质料时,把离子束把固体质料的原子或分子撞出固体质料外表,这个征象叫做溅射;而当离子束射到固体质料时,从固体质料外表弹了返来,大概穿出固体质料而去,这些征象叫做散射;别的有一种征象是,离子束射到固体质料当前,遭到固体质料的抵挡而速率渐渐减低上去,并终极停顿在固体质料中,这一征象就叫做离子注入。


离子注入技能原理:

是近30年来在国际上发达开展和普遍使用的一种质料外表改性高新技能。其根本原理是:用能量为100keV量级的离子束入射到质料中去,离子束与质料中的原子或分子将产生一系列物理的和化学的互相作用,入射离子渐渐丧失能量,最初停顿在质料中,并惹起质料外表身分、布局和功能产生变革,从而优化质料外表功能,或取得某些新的优秀功能。此项高新技能由于其共同而突出的好处,曾经在半导体质料掺杂,金属、陶瓷、高分子聚合物等的外表改性上取得了极为普遍的使用,获得了宏大的经济效益和社会效益。

离子注入作为微电子工艺中紧张的掺杂技能,在优化质料外表功能方面发扬着要害作用。离子注入工艺对质料的低温功能和耐化学腐蚀功能要求十分高,因而,电离室次要部件均接纳由钨、钼或石墨质料。格美多年来不停对离子注入行业用钨钼质料举行消费研发,拥有波动的消费工艺和丰厚的履历。

凯发ag金属质料为您提供优质的离子注入使用质料。


使用产品:钨棒、钨板、钼棒、钼板

钨棒、钼棒

直径(mm)

直径偏向(mm)

长度(mm)

长度偏向(mm)

粗度(μm)

车光外表

Φ10~Φ350

±0.01~±0.05

10~3000

±0.01~±1

Ra≤1.6

磨光外表

Φ10~Φ80

±0.01~±0.05

10~8000

±0.01~±1

Ra≤0.8


可加工种类与规格:

钨板、钼板

厚度( δ)

厚度偏向(mm)

宽度(mm)

宽度偏向(mm)

长度(mm)

长度偏向(mm)

粗度(μm)

车光外表

10~40

±0.05~±0.1

10~300

±0.1~±0.5

10~500

±0.1~±0.5

Ra≤1.6

磨光外表

10~40

±0.05~±0.1

10~800

±0.05~±0.2

10~1000

±0.05~±0.2

Ra≤0.8

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